以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示

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	以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示
	余江 ; 刘佳丽 ; 甘泉 ; 李世光 ; 张越
发表期刊	中国科学院院刊
关键词	重大原始创新国家战略科技力量新一代光刻技术创新策源地
	2020-01-20
卷号	35 期号:01 页码:112-117
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.casisd.cn/handle/190111/9727
专题	中国科学院科技战略咨询研究院产业科技创新研究部
作者单位	1.中国科学院科技战略咨询研究院 2.中国科学院大学公共政策与管理学院 3.中国科学院发展规划局 4.中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	余江,刘佳丽,甘泉,等. 以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示[J]. 中国科学院院刊,2020,35(01):112-117.
APA	余江,刘佳丽,甘泉,李世光,&张越.(2020).以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示.中国科学院院刊,35(01),112-117.
MLA	余江,et al."以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示".中国科学院院刊 35.01(2020):112-117.