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以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示 期刊论文
中国科学院院刊, 2020, 卷号: 35, 期号: 01, 页码: 112-117
作者:  余江;  刘佳丽;  甘泉;  李世光;  张越
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重大原始创新  国家战略科技力量  新一代光刻技术  创新策源地